无尘洁净室
无尘洁净室(Clean Room),亦称为无尘室,洁净室或无尘车间。它是污染控制的基础。没有无尘洁净室,污染敏感零件不可能批量生产。在 FED-STD-2里面,无尘洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。
基本常识
一、无尘洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计建成的无尘洁净房间。
二、无尘洁净室的原理。洁净室是利用HEPA、空气净化设备,其尘埃的收集率达99.97~99.99995%之多,因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。然而洁净室内除了人以外,尚有机器等之发尘源,这些发生的尘埃一旦扩散,即无法保持洁净空间,因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。
三、无尘洁净室中的三尘。无尘洁净室有三大原则:禁尘、带尘、产尘。风淋室作为进入洁净室的缓冲通道之一,是控制带尘的最好净化设备之一,它可以最大限度地减少员工进出无尘洁净室所带来的污染问题。风淋室的两道门电子互锁,可以兼起气闸室的作用,阻止外界污染和未被净化的空气进入无尘洁净区域,达到生产车间所要求的生产洁净环境。
四,无尘洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为无尘洁净室。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。
伍.每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。
管理制度规范
一、目的:在生产过程中做好卫生监测与管理,防止交叉污染,对产品质量起到重要的作用,因此特质定无尘洁净室洁净区工艺卫生管理制度。
二、范围:适用于洁净车间的人流,物流及车间的环境,设施洁净有关的其它元素的管理
三、工作程序:
1、进入洁净区工作的人员须经过体检,取得健康证后才能上岗,每年复查一次,如果不合格者,必须调出,患有感冒的工作人员不得进入洁净区工作。
2、洁净区每个人所占面积不得少于4平方米
3、洁净区内工作服管理见《洁净区工作服管理制度》
4、每天下班后洁净车间要用紫外灯消毒60分钟,并填好“紫外灯消毒记录”每月用甲醛熏蒸一次,时间半个小时,并填写“熏蒸消毒记录”
5、人流出入洁净区必须按以下程序和要求进行。
人进-------换鞋-----脱外衣------洗手------穿洁净服-------手消毒-------风林
7、物流进入洁净区必须按以下程序和要求进行:
物品-----脱外包装室-----
8、进入洁净区的零件及原辅材料,必须脱外包装经双层传递窗,生产出来的产品需经包装封口后从传递窗流出
10
12、周转箱在保证其洁净度的前提下,每周清洗不少于1
13、洁净区的工装每天下班后操作工要做维护保养,保持工装洁净
14、凡进入洁净区检测和生产用的压缩空气都需经过净化处理
19、紫外灯应每个编号,具体记录其开始使用时间,累计使用时间,使用超过800小时应更换,也可以每年检测一次紫外线强度,强度不到的应更换,灯具